第76回　精密工学会超精密加工専門委員会

テーマ：　次世代基板研磨技術の最前線

Chair　　　　　  ：　佐野泰久（大阪大学）

主催　　　　　　：　精密工学会超精密加工専門委員会

開催日　　　　　：　2025年12月9日㈫

場所　　　　　　：　大阪大学 理工学図書館 3F 図書館ホール

　　　　　　　　　　（https://www.library.osaka-u.ac.jp/rikou/access/ )　

委員会参加費　　：　無料

情報交換会参加費：　4000円　【情報交換会：12月9日18：00～】

講演資料　　　　：　精密工学会超精密加工専門委員会のメンバーのみに配布（冊子配布）

　　　　　　　　※    本委員会の非会員の方も参加可

【プログラム】

12:30 　　　　　　　  受付開始

13:00～13:10　　　　 超精密加工専門委員会の紹介

13:10～14:00 　　　　村田順二　　（立命館大学）　「 固体電解質/材料界面の化学反応制御によるナノ表面創成」

14:00～14:50 　　　　久保田章亀　（熊本大学）　　「摩擦界面における固相間反応を利用した原子レベル表面平坦化」

14:50～15:00 　　　　　休憩 （10分間）

15:00～15:50　　　　 孫　栄硯　　（大阪大学）　 　「"No Slurry, All Surface"ーー材料特性非依存ナノ研磨プロセスの開発」

15:50～16:40 　　　　藤 大雪　　 （大阪大学）　　「水と金属触媒を用いた環境調和型超精密研磨技術の開発」

16:50～17:50　　　　 研究室見学（60分間）

18:00～20:00　　　　 情報交換会  （阪大生協 吹田DonDon）