2026年度精密工学会秋季大会学術講演会

　　大会１日目：オーガナイズドセッション　X線光学のための精密技術

主催　　　　　　：　公益社団法人精密工学会

開催日　　　　　：　2026年9月15日㈫　14時00分～18時30分

場所　　　　　　：　東北大学川内キャンパス　講演会場 J室

講演資料　　　　：　当専門委員会 会員に配布

※参加方法は精密工学会HP（https://2026-09autumn.jspe.or.jp/）にてご確認ください。

　（　聴講参加事前申し込み　受付〆切：8月19日㈬　、開催当日の参加申込有　）

【プログラム】　

14:15　　「Ｘ線屈折プリズムと AKBミラーを用いた 高分解能X線タイコ グラフィの開発 」

　○武村紀歩 （大阪大学）、山田純平（　〃　）、山口豪太（理化学研）、尾崎恭介（　〃　）、湯本博勝（高輝度光 科学研セ） Sriphakdee Miskawan （大阪大）、堀 美怜（　〃　）、 藤 大雪（　〃　）、佐野泰久（　〃　）、初井宇記（理化学研）、 矢橋牧名（　〃　） 

14:30　　「長作動距離ミラー光 学系による軟X線反 射型タイコグラフィ の評価と試料アライ メントのための基準 試料の作製 」

　　　　    ○ 永山裕一 （東京大学）、竹尾陽子（　〃　）、櫻井 快（　〃　）、ジョーダンオーニール（　〃　）、吉永亨太（　〃　）、中田勇宇（　〃　） 　   山神光平（高輝度光 科学研究セ）、岸本 輝（　〃　）、仙波泰徳（　〃　）、矢橋牧名（理化学研）、大橋治彦（高輝度光 科学研究セ）、　　　　　　　　　　　　　   木村隆志（東京大学） 

14:45　　「高フラックスsub 10nm X線集光のた めのRu/C多層膜 AKBミラーの高精度 作製 」

　　　　    ○尾崎大地 （大阪大学）、山田純平（　〃　）、岩野新大（　〃　）、Sriphakdee Miskawan（　〃　）、山口豪太（理化学研）、　　　　　　　　　　　           山内和人（大阪大学）、藤 大雪（　〃　）、佐野泰久（　〃　）、矢橋牧名（理化学研） 

15:00　　「高分解能X線分光分 析のための二次元グ レーディッド多層膜 ミラーの開発 」

     ○正藤大輔 （名古屋大学） 井上陽登（　〃　） 松山智至（　〃　） 

15:30　　「NanoTerasuの軟X 線ビームライン光学 系 」＜キーノートスピーチ＞

     ○堀場弘司 （量子科学技術研究開発機構） 

16:00　　「ウォルターミラーを 用いた結像型顕微鏡 の開発と軟X線高速 イメージングの実現 に向けた取り組み 」

     ○吉永享太（ 東京大学）、竹尾陽子（　〃　）、松澤雄介（夏目光学）、平栗健太郎（　〃　）、池田暁彦（電気通信大）、江川 悟（東京大学）　 　　　　　　 　岸本 輝（高輝度光 科学研究セ）、仙波泰徳（　〃　）、橋⽖寛和（夏目光学）、矢橋牧名（理化学研）、松田康弘（東京大）、　　　　　　　　　　　　　 　大橋治彦（高輝度光 科学研究セ）、木村隆志（東京大学） 

16:15　　「軟X線回転楕円ミラ ーの高精度加工・計 測手法の開発（第二 報）−内面形状計測 システムの高精度化− 」

    ○海老池 豊 （東京大学）、本山央人（　〃　）、江川 悟（　〃　）、郭 建麗（　〃　）、細畠拓也（　〃　）、三村秀和（　〃　）

16:30　　「高速変形する形状可 変ミラーを用いた新 規X線照明光学系の 開発−第2報　ミラ ーの高速変形性能評 価− 」

    ○小野太輝（名古屋大学）、井上陽登（　〃　）、小松竜裕（　〃　）、松山智至（　〃　） 

17:00　　「高精度かつ大変形可 能な接合型形状可変 ミラーの開発 」

    ○中村優斗（名古屋大学）、井上陽登（　〃　）、香村芳樹（理化学研）、矢橋牧名（　〃　）、松山智至（名古屋大学） 

17:15　　「大気圧以上の高圧プ ラズマエッチングに よるGe製X線光学 素子の無歪み仕上げ 加工 」

    ○小田隆司（大阪大学）、松村正太郎（エスサーフェス テクノロジーズ）、三宅雅史（大阪大学）、井上伊知郎（理化学研）、大坂泰斗（　〃　） 　　　　　   山内和人（大阪大学）、矢橋牧名（理化学研）、佐野泰久（大阪大学）、小笠原伊織（　〃　）

17:30　　「産業用ロボットを用 いた高精度ミラー製 造プロセスの自動化 」

    ○高廣 翼（東京大学 ）、本山央人（　〃　）、江川　悟（　〃　）、郭 建麗（　〃　）、細畠拓也（　〃　）、三村秀和（　〃　）